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              净化车间升级维护

              作者: 上力恒净化工程      来源: www.edoganmakina.com     
              咨询热线:13382513191

              详情内容
              由于空气洁净度等级的提升,尤其是从非单向流洁净室升级为单向流洁净室或由100000级/10000级洁净室升级改造为1000级/100级/10级洁净室时,无论是净化空调系统的循环风量、工厂洁净室的平面和空间布置和相关的洁净技术措施等都有较大的变化,因此洁净室的升级改造除了前面已叙述的设计原则外还要考虑下述因素。

              一、洁净室的改造,首先要有一个好的改造方案,结合具体工程的实际情况,包括改造的目标和相关的技术参数,原建筑的现状等,做到技术经济细致等多个设计方案的比较。特别要指出的是,这种比较必须包括对升级改造后运营成本的比较,尤其要注意对能耗成本的比较。为了完成这项任务,业主应委托具有实践经验和相应资质的设计单位进行勘察、咨询和规划。

              二、洁净室改造应优先选用各种隔离技术、微环境技术或局部洁净装置或层流罩等技术手段,实现高水平生产工艺和设备与低水平洁净室的分离或整体洁净度的提高房间内空气洁净度达到可行水平,而生产中要求较高的是微环境装置等工艺和设备采用的技术手段。近年来,许多大规模集成电路工厂在升级洁净室或新建厂房时,按照100级/1000级单向流洁净室设计建造了生产厂房,然后根据生产线工艺和设备的高级别洁净度采用SMIF微环境系统,达到产品生产所需的空气洁净度等级,既降低了投资成本,又降低了能耗。也有利于生产线的改造,扩展的要求,具有良好的灵活性.

              三、洁净室改造时,往往需要增加净化空调系统的循环风量,即增加洁净室换气次数或平均风速。因此,需要对净化空调装置进行调整或更换,增加高效风口的数量,增加风道的尺寸,增加冷却(制热)能力等。在实际工作中,为了降低洁净室改造的投资成本,使调整变化较小,解决这一问题的唯一途径是充分了解产品的生产工艺和原有洁净空调系统的情况,合理划分洁净空调系统,结合作者介绍的洁净室改造原则,充分利用原有系统及其风道,适当增加设置必要的洁净空调系统,减少改造工作量。
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